特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的，對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。特種氣體種類繁多，通?？蓞^(qū)分為電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣、環(huán)保氣、醫(yī)用氣、焊接氣、殺菌氣等。
其中，電子氣體是特種氣體的一個重要分支，它是指半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱，是發(fā)展集成電路、光電子、微電子等產(chǎn)業(yè)過程中不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料，被稱為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”。電子氣體主要可分為純氣、高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。
此外，標(biāo)準(zhǔn)氣體主要用于監(jiān)測和校準(zhǔn)，如環(huán)保類標(biāo)準(zhǔn)氣體和醫(yī)藥衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)氣體。高純氣體則用于鋼鐵、化工、電力、金屬加工等傳統(tǒng)工業(yè)領(lǐng)域。
以上只是特種氣體的一部分，實際上特種氣體的種類非常多，且在不同領(lǐng)域中有不同的應(yīng)用和需求。
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